公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司,为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务。公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售。公司产品主要是CCP刻蚀设备、ICP刻蚀设备、MOCVD设备、薄膜沉积设备研发、气体净化设备、分布式生态工业互联网平台。公司荣誉有上海市科学技术奖、2011年突出成果奖、中国专利金奖、2025年荣获第二十五届中国专利奖银奖等。